檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "陳炤彰".cadvisor (精準) and ckeyword.raw="軟韌材料"
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隨著科技日新月異地進步,從今日的12吋晶圓至未來即將進入的新世代18吋晶圓,半導體產品已成為人類的生活不可或缺之必需品,並隨著曝光微影的線寬持續降低,化學機械平坦化已成為半導體製程中關鍵的技術。而製…